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UL1000 Fab移动式氦检漏仪
UL1000 Fab移动式氦检漏仪专门设计用于满足工业检漏苛刻的要求:耐用性,测试灵活性,高灵敏度,快速与精确的结果,快速启动,和系统的可靠性。UL1000 Fab最佳化快速提供真空室测试或元件测试的漏率测试结果-24小时和7天,即使在不适宜的环境条件下。
UL1000 Fab满足工业生产的要求。特性范围从它的坚固的金属外壳,大轮子,至|●CAL*,无可比拟的运算法则用于消除在超灵敏的10-11与10-12漏率范围内长时间求平均值。
系统软件包括先进的有故障查找的常规自诊断程序,可调用预防氦气或微粒污染的保护功能。涡轮分子泵的高抽速与高压缩比,降低和迅速消除氦污染。??? INFICON UL1000 Fab型移动式氦检漏仪尤其适用于半导体工业精确检漏的要求:灵活性测试,高灵敏度,快速与精确的结果,快速启动,移动性和系统的可靠性。在定期维护、临时检修、气体管路和其它测漏应用中UL 1000 Fab 可快速提供测试结果。
特性:
1. 方便的可转动显示器
2. 甚为方便的移动式
3. 连接口均位于一侧
4. 可靠性甚高的真空系统
5. 通过E-MAIL升级软件
6. 离子源三年保修期
7. 集成电路和半导体元件封装的气密性检测
8. 继电器、传感器和接连件的气密性检测。
9. 真空零部件的检漏
10.真空系统的检漏
技术参数:
| 最小可检漏率(按AVS2.1和EN1518标准) |
<5×10-12毫巴?升/秒 |
| 最小可检漏率(吸入器模式) |
<3×10-8毫巴?升/秒 |
| 入口压强 |
粗检模式 |
15毫巴 |
| 精检模式 |
2? 毫巴 |
| 超精检模式 |
0.4毫巴 |
| 在抽空过程中的抽速 |
25立方米/小时 |
入口处对氦抽速(EN1518) 粗检模式
精检模式
超精检模式 |
8升/秒
7升/秒
2.5升/秒 |
| 可检质量数 |
2,? 3,? 4 amu
氢,3氦,氦 |
| 电源电压 |
110-120伏;220-241伏 |
| 重量 |
110公斤;242磅 |
| 尺寸,包括手把(长×宽×高) |
1068×525×850毫米;
42×21×33吋 |
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